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本文標題:光學光源設計，對準儀的燈常在工作時用電扇冷卻

信息分類:技術資訊　新聞來源：未知發布時間：2017-9-30 1:10:43

光學光源設計，對準儀的燈常在工作時用電扇冷卻

　　光學光刻

　　然而，實際系統比這些簡單的敘述復雜得多。光源不是一個點，而

是一有限體積。它也會發射許多波長。光通過透鏡／反射鏡組合被收集

。每一光學元件會有某些缺陷，如局部畸變和色差。掩模本身也會反射

、吸收和相移入射的輻照。

　　在圓片表面的反射進一步使事情復雜化。結果，圓片表面產生的圖

形(實像)只可能是數值近似。盡管這樣，還需要很復雜的軟件。可以買

到幾種進行這樣計算的商用程序。以下幾節將提出一些簡單的近似，可

用于替代實像光強更精確的計算而確定分辨率。

　　燈的第二個光源是汞原子本身，與高能電子的碰撞，推動汞原子的

電子進入能帶的高能態。當它們回到低能態時，它們發射出光的波長相

應于其能量躍遷。這些光發射線譜非常尖銳，所以可用于確定等離子體

中的主要產生物。典型的汞燈線光譜。這些線按它們的能

量命名。對準機常常過濾掉除了一條單線外的全部線。

　　在工作時，高能汞離子轟擊負電極。此時，它們通過稱為濺射(spu

ttering)的物理過程，打出少量的電極材料。一些濺射出的電極材料涂

敷在石英玻璃殼的內壁。而且，燈內壁表面的高溫會使石英玻璃慢慢失

透，留下白霧狀形貌。濺射與失透結合一起減弱了輸出強度。附加的吸

收能量使燈外殼更熱。最后，燈常常由于爆裂而失效，這會嚴重損壞對

準光學系統。因此，對準機的燈通常在工作時用電扇冷卻，而且在使用

一定小時數后更換。

　　簡單的光學光源設計，當然不很實用。只有很小部分燈的輻照能到

達圓片上。除非圓片是球形的(不是通常所希望有的條件)，否則表面的

功率密度會是不均勻的。因此，光源光學系統設計有四個主要目標。第

一個是收集盡可能多的光輻照。沒有這樣的收集，曝光時間會不可實用

的長。第二個目標是要使整個曝光場輻照強度均勻，以避免圓片某些部

分過度曝光，而另外的區域則曝光不足。第三個目標是使輻照準直和成

形達到所需要的程度。通常，并不希望完全平行準直，常常應用小角度

的發散光來代替。