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本文標(biāo)題:場發(fā)射掃描電子顯微鏡的用途

信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源:未知 發(fā)布時(shí)間:2014-4-28 15:52:48
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的用途

場發(fā)射掃描電子顯微鏡的主要用途該儀器具有超高分辨率,能做各種
固態(tài)樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。

場發(fā)射掃描電子顯微鏡的 具有高性能x射線能譜儀,能同時(shí)進(jìn)行樣品
表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學(xué)
組分綜合分析能力。

場發(fā)射掃描電子顯微鏡的儀器類別儀器儀表、光學(xué)儀器 、電子光學(xué)
及離子光學(xué)儀器

場發(fā)射掃描電子顯微鏡的指標(biāo)信息二次電子象分辨率加速電壓放大倍
數(shù),萬倍連續(xù)可調(diào)工作距離連續(xù)可調(diào)傾斜射線能譜儀。分辨率分析范
圍鍍金鍍炭儀、圖像處理系統(tǒng)背散射探頭。

場發(fā)射掃描電鏡由于分辨率高,為納米材料的研究提供了可靠的實(shí)驗(yàn)
手段。

場發(fā)射掃描電子顯微鏡對半導(dǎo)體材料和絕緣體,都能得到滿意的圖像
,對超導(dǎo),磁性,分子延生長的薄膜材料,半導(dǎo)體進(jìn)行了形貌觀察,
并對進(jìn)行了微區(qū)成份分析。

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