本文標題:掃描電子顯微鏡的電子束與樣品
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-5-9 11:00:03
掃描電子顯微鏡的電子束與樣品
掃描電子顯微鏡的電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性
質(zhì)有關(guān)信號。例如：與樣品化學成分分布相關(guān)的，
掃描電子顯微鏡的背散射電子，特征射線，俄歇電子，陰極熒光，樣
品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測。
掃描電子顯微鏡的與半導體材料電學性能相關(guān)的，二次電子信號、電
子束感生電流信號；在觀察薄樣品時產(chǎn)生的透射電子信號等。
掃描電子顯微鏡的目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電
鏡樣品分析室，用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。
掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒有任何一種儀器
能夠和其相提并論。
掃描電子顯微鏡的對于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡
是至關(guān)重要的。
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